光刻机制造

光刻机是什么用途？融媒体记者 陈雯上海微首台28nm光刻机样品已经通过验收了？业内人士分析，通过验收不等于交付工厂实际使用。通过验收是少数晶圆尺寸合格、曝光到位即可，完全量产则需要90%以上的良率和一定经济效益的实现，需深入实际产线进一步合作研发。何况消息并不一定属实。从经济效益的角度，虽然多层曝光